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一、电子信息

1101 利用于卫星通讯的Ku波段氮化镓功率放大器芯片的关键技术研发

需要指标：满足卫星通讯在Ku频段所需的高增益、高带宽以及高靠得住性功率放大单片集成电路芯片（MMIC）
，发展中频段氮化镓有源和无源管芯工艺开发
，成立高精度的PKD和管芯模型
，并在此基础之上进行芯片电路设计
，开发芯片失效验证技术
，*终形成可利用于民用卫星通讯的高靠得住性氮化镓微波集成电路芯片产品
，获得利用验证
。

查核指标：（1）GaNMMIC芯片
，工作频率为12-18GHz
，鼓和输出功率≥25dBm
，幼信号增益≥12dB；（2）有源管芯指标：截止频率≥20GHz
，增益＞11dB
，效能＞45%；（3）无源管芯指标：电容＞0.2-10.5pF、电阻(10-2k）Ω、电感0.3-4.5nH；（4）模型误差幼于10%
。

利用要求：该项目产品指标通过第三方检测
，获得卫星通讯厂商验证通过
。

1102 扇入型晶圆级封装技术研发

需要指标：针对半导体芯片封装的高集成度和高心梗的火急需要
，发展先进封装前段造程的铜柱微凸点技术
，研发高密度铜柱微凸点技术
，精密RDL造作技术工艺
，晶圆减薄技术
，解决芯片靠得住性电性互连问题
，实现高端集成电路封装芯片基板互联
。

查核指标：（1）铜凸点间距：8寸100um/12寸100um；（2）减薄后的厚度:8寸150um/12寸200um；（3）电互连密度5um~5um；（4）电流密度7*105A/cm^2；（5）电阻率1.7mΩ*cm；（6）RDL线宽/线间距:10/10um；（7）芯片尺寸*大：7*7mm；*幼尺寸：0.4*0.2mm
。

利用要求：该项主张成就须通过国内**半导体厂商的利用验证
。

二、设备造作

1103 亚微米级智能精密复合磨削中心关键技术研发

需要指标：针对航空航天、汽车造作、工业母机等领域里表圆、内圆、端面、概括、螺纹等复杂特点零件的高精高效智能磨削需要
，发展精密复合磨削中超精密**型工件头架、高精度砂轮主轴系统、高精度回转数控“B”轴系统等关键技术研发
，钻研主轴系统、磨床整机的机能衰退机理以及靠得住性实现技术
，开发高精度高速内磨主轴与智能磨削工艺
，成功开发高精高效智能复合磨削中心
，实此刻国内驰名汽车部件供给厂商或工业母机领域利用验证和示范利用
。

查核指标：（1）亚微米级智能精密复合磨削中心
，①X/Z轴定位精度0.003/0.004mm；②X/Z轴沉复定位精度0.0015/0.002mm；③B轴定位精度≤1″；④C轴定位精度≤+/-0.5°；⑤工件磨削圆度*高可达0.2μm；⑥工件磨削圆柱度≤2μm/m（1000mm尺度长度试件）；⑦四轴联动智能精密磨削；（2）精密磨床主轴系统机能评估步骤与靠得住性测试平台
，实现主轴系统关键时变个性参数、驱控参数、精度指标等3大类靠得住性指标的丈量
，针对主轴系统整体惯量、动态摩擦个性、回转精杜纂跳动等关键指标的丈量与预测误差幼于2%；实现高机能电主轴负载工况转速颠簸幼于0.3%；磨床均匀无故障工作功夫MTBF≥2500幼时；（3）开发高精度高速内磨主轴
，主轴额定扭矩6.8NM
，*高转速24000RPM
，端部跳动≤1um；（4）项目期申请知识产权12项
，其中发现4项
，实用新型6项
，软件著述权2项；（5）开发的亚微米级智能精密复合磨削中心通过国度权威检测机构检测
。

利用要求：该项目研发成就须通过国内驰名汽车部件供给厂商或工业母机领域利用验证和示范利用
。

1104 基于脉冲射频辉光放电光谱仪技术的研发

需要指标：可对纳米级以及百微米级的膜层结构进行深度分解；在成立设备深度分辨率函数基础上
，可对丈量得到的深度谱进行定量分析；通过第三方提供的标样
，成立将元素强度转换成浓度的数据库（工作曲线）；通过造备膜层结构已知的标样
，成立将溅射功夫转换为溅射深度的数据库
。

查核指标：（1）引发源：频率为13.56MHz的射频水冷式固态产生器
，能够在RF、脉冲RF或是VDC下运行*大功率150W；（2）光谱领域：120nm~800nm；（3）光谱仪：恒温系统（38±0.1℃);（4）焦距998.8mm；2160gr/mm光栅；（5）光谱分辨率：18pm~25pm；（6）深度分辨率：1~2nm；（7）*多元素通路：48个；（8）检测器：PMT；（9）真空度：幼于3Pa；（10）软件：WinGDOES；（11）授权专利10项
，其中发现专利2项；实用新型专利5项；软件著述权2项；表观专利1项
。

利用要求：该项主张成就须通过国内专业的第三方检测机构的检考试证
。

1105 用于VR/AR/MR领域的超高分辨率硅基OLED微显示技术研发

需要指标：针对VR/AR/MR近眼显示设备对高亮度、高分辨率、高效能低功耗的需要
，发展高均匀性硅基OLEDArray电路优化设计、高透过率和高功函数的硅基阳*资料开发、高效能高亮度器件结构开发等关键技术研发
，钻研产品低功耗的电路优化设计、开发高机能的白光OLED器件、钻研阳*资料和阳*结构为解决顶发射器件启动电压和亮度均一性问题
，实此刻VR/AR/MR领域近眼显示设备的工程化利用
。

查核指标：（1）优化硅基OLED驱动IC电路
，进一步提高刷新率至120Hz；（2）优化高均匀硅基OLEDArray电路
，进一步提高分辨率至4500PPI;（3）开发硅基阳*资料
，通过开发具备更高透过率和功函数的阳*顶层资料
，进一步提升显示亮度达5000nit和亮度均一性达90%；（4）开发高效能高亮度结构器件
，提升效能并降低电压
，白光亮度提升至5000nit
，功耗机能提升至1750mW；（5）优化低温CF技术
，开发相适应的高色域RGB资料和工艺
，提高显示器色域≥90%
。

利用要求：该项主张成就须通过国内专业的第三方检测机构的检考试证
。

1106 耐超凹凸温、耐强辐射的二氧化硅介质射频同轴电缆组件关键技术研发

需要指标：针对超音速飞行器、宇航深空探测、核辐射测试、超低温测控等超高难度、高精尖领域
，进行幼型化二氧化硅射频同轴电缆组件的关键技术研发
，以及二氧化硅射频同轴电缆柔性化可行性验证钻研
。钻研超高纯度、高机能二氧化硅介质资料
，钻研二氧化硅射频同轴电缆的幼型化
，钻研二氧化硅射频同轴电缆的柔软化
，实此刻高明音速飞行器、宇航深空探测器、核工业、量子推算等领域的工程利用
。

查核指标：（1）二氧化硅半硬射频同轴电缆表径不大于3.65mm；其造成的电缆组件*高工作频率不低于18GHz；电缆介质耐电压≥1000VDC；电缆组件18GHz插入损耗≤3.0dB；电缆组件18GHz电压驻波比≤1.5；电缆个性阻抗50±5Ω；（2）二氧化硅柔性射频同轴电缆开发实现；造成的电缆组件工作频率不低于6GHz；电缆个性阻抗50±5Ω；（3）上述两款电缆组件高温600℃×1幼时试验后
，插入损耗变动量不超过试验前1.5倍；（4）上述两款电缆组件低温-196℃×1幼时试验后
，插入损耗变动量不超过试验前1.5倍；（5）上述两款电缆组件辐照500Mrad后
，插入损耗变动量不超过试验前1.5倍
。

利用要求：该项主张成就须通过国内专业的第三方检测机构的检考试证
。

1107 百级高干净半导体晶圆盒智能堆垛工业机械人系统关键技术研发

需要指标：晶圆盒贮存库用百级高干净度、高作业效能巷路堆垛机械人系统技术一向被日韩及欧盟先进企业所节造
，国内市场根基被日韩品牌产品所垄断
，为突破西方国度对我国半导体技术、设备执行全面不容和断供局面
，发展百级高干净半导体晶圆盒智能堆垛工业机械人系统关键技术研发
，钻研高效能双向作业堆垛工业机械人叉臂设计、基于P-DBN深度误差赔偿网络的非接触式磁栅尺高精度地位丈量算法、基于区块链智能合约的智能堆垛工业机械人叉臂搬运信息溯源等技术
，研造百级高干净半导体晶圆盒智能堆垛工业机械人系统
，实此刻半导体企业高干净多维立体库晶圆盒高效搬送和贮存
，并代替进口
。

查核指标：（1）干净等级：百级；（2）沉复定位精度：±0.5mm；（3）机械人叉臂*大表伸行程：不低于610mm；（4）存取效能：一次双向同时存取晶圆盒2只/7s；（4）*大负载：≥40Kg；（5）行走速度：≥Max.120m/min；（6）起落速度：≥Max.110m/min；（7）节造方式：工控机+PLC；（8）通讯方式：光通讯；（9）车体定位方式：激光测距加伺服驱动节造；

利用要求：项目成就通过国内主流半导体出产企业利用验证
。

1108 800V高效能低成本扁线定子总成关键技术研发

需要指标：针对新能源汽车对800V高电压、高效能、高靠得住性、低成本扁线定子总成的需要
，发展扁线定子电磁和结构设计、高机能绝缘资料研发、造作设备和工艺、机能测试和靠得住性评定等关键技术的研发
，钻研拥有高功率密度、高效能、低成本扁线电机定子总成
，并实此刻新能源汽车电驱动系统中批量利用
。

查核指标：扁线电机定子总成：（1）沉量功率密度≥10kW/kg；体积功率密度≥75kW/L；（2）装机后电机效能≥97.5%；（3）工频互换PDIV≥1200V；（4）脉冲RPDIV≥3500V；（5）Vp-p3500V下方波耐电晕寿命≥500h
。

利用要求：该项目研发成就电机扁线定子通过机能测试和靠得住性验证
。

1109 电动汽车全自动急剧换电站的研发

需要指标：为新能源汽车提供全自动智能急剧换电站及换电解决规划
，在技术规划、占地面积、投资额、建设难度、质量尺度、建设功夫等方面均尝试突破
，并且可能自动监控电池充电、智能调整充电速度
，重要研发内容蕴含智能充换电治理系统、充换电设备的多层安全防护结构及浮动自适应对准技术以及3D视觉定位和机械定位融合的高精度定位技术
，实现急剧全自动换电
。

查核指标：（1）出产节拍：≤3分钟更换电池；（2）整机故障率：3‰；（3）每5000次产生2h离线检建故障率：<1‰；（4）噪声指标：<70db；（5）充电效能≥97%
。

利用要求：该项主张成就须通过国内主流新能源汽车厂商利用验证
。

1110 汽车轻量化板材加工过程中机械视觉智能检测工艺的研发

需要指标：随着能源结构的调整和环保要求的提高
，汽车工业在向着轻量化方向发展
。激光拼焊是选取激光能源
，将若干分歧材质、分歧厚度、分歧涂层的钢材、不锈钢材、铝合金材等进行自动拼合和焊接而形成一块整体板材、型材、夹芯板等
，以满足零部件对资料机能的分歧要求
，用*轻的沉量、*优结构和*佳机能实现设备轻量化
。焊接质量的问题能够在焊接过程中的多个因数中产生
，如资料的内部缺点和复杂的造作环境均会产生焊接质量问题
。传统的焊接质量的离线查抄存在耗时、浪费资料和影响产能的问题
。因而
，发展多种实时焊接质量监控伎俩来提供焊接的实时信息以节造焊接工艺和确保焊接质量
。

查核指标：（1）使焊件不陆续性参数*大值0.1mm
，错边参数±0.5mm
，咬边深度和超出厚度*大值0.15mm
，定位精度±0.07mm
，自动检测正确率95%；（2）改进传统Canny边缘检测系统
。算法针对传统Canny边缘检测算法抗噪能力差、适应性不高档问题
，结合*大津、自适应双阈值拔取以及*大熵法进行改进
，*大水平保留图像信息
，通过改进双阈值拔取步骤提高算法对于布景复杂图像的适应性
，便于后续对指标对象的提取与钻研；（3）板材直线度幼于0.07mm
，对拼间隙柔性兼容0-0.5mm
，概括度0.5mm；（4）单个气孔的*大尺寸L≤0.3t
，欠缺投影面堆集计总和之比f≤0.7%
，结合气孔ΔL≥0.5t；（5）焊缝杯突值：开裂方向平行于焊缝而位于远离扰装响区的母材
，则视为合格
，开裂方向垂直于焊缝
，且杯突值调查值满足公式要求大于蹬宗75%
，焊缝拉力值：不成断裂在焊缝处
。

利用要求：该项主张成就须通过国内主流汽车厂商的利用验证
。

1111 新能源工业级大容量智能液冷储能系统关键技术研发

需要指标：萦绕双碳指标
，针对新能源领域对电网频率节造和电力系统平衡模式沉构的需要
，发展工业级大容量智能液冷储能系统关键技术研发
，钻研钎焊无缝液冷循环系统关键工艺、储能PACK包复合金属承沉系统轻量化和储能包新型结构资料热力行为关键技术
，优化大容量储能设备专用承沉系统以及智能化服务规划
，开发一款强度大、密封好、散热强、效能高的大容量智能液冷储能系统
，获得储能削峰填谷、系统调频、滑润新能源电力输出等职能
，实此刻国内新能源龙头企业大容量、智能储能领域的示范性利用场景
。

查核指标：（1）储能PACK包箱体承沉≧300Kg
，变形度≤1.5mm
，平面度≤2mm；（2）密封等级≧IP67
，造冷剂泄漏量≤2x10-8Pa.m3/s；（3）运行工况下
，PACK包箱体温度≤35°C
，温差<3°C
，液冷换热系数5000-50000
，阻燃等级达到UL94-V0；（4）大容量储能系统PACK包>65组
，PACK包集成1P48S/52S锂电芯
，总装机容量≧3.2MWH
，持续供电≧2h；（5）申请知识产权≥20件
，其中发现专利≥8件、实用新型≥12件；颁发论文≥3篇
，造订企业技术尺度2项
。

利用要求：该项主张成就需通过国度权威机构认定
，并获得国内典型新能源厂商示范利用
。

三、先进资料

1112 超细晶金属陶瓷基复合伙料的研发

需要指标：针对难加工资料在加工过程中存在的效能低、磨损快、加工质量无法满足需要等难题
，发展超细晶金属陶瓷基复合伙料的研发
，创新发现新型(Ti,W)(C,N)固溶体粉末取代通例混合粉末造备金属陶瓷
，*大水平减幼硬质相晶粒内部的芯-环成分差距(即形成灰芯-灰环结构
，预防黑芯-灰环结构)
，改善芯-环界面晶格错配和内应力
，预防合金元素过多的固溶进入粘结相形成脆性的金属间化合物
，能够削减二次碳化物MeC数量
，缩短球磨功夫
，预防增氧和掺杂
。创新发现纳米级β-SiC晶须造备金属陶瓷
，调控晶须增长量
，预防合金出现孔隙及Mo2C同化相
，1450°C烧结金属陶瓷
，一样硬度下
，增长SiC晶须的金属陶瓷断裂韧性显著提升
。

查核指标：（1）粉末冶金分层填铺法造备梯度Ti（C
，N）基金属陶瓷
，造备出的拥有一样粘结相含量的5层梯度结构金属陶瓷的抗弯强度为2325MPa
，表表硬度91.5HRA；（2）无钴金属陶瓷的强度和韧性
，造备无钴金属陶瓷合金产品
，强度可达2000(N/mm2)以上
，断裂韧性＞10MPa.m?；（3）造备边长或直径超过350mm、厚度超过40mm、尺寸公差在±0.20mm以内的大尺寸无钴金属陶瓷异型资料产品；（4）金属加工效能提升一倍以上
，表表质量提高一个技术等级
，实现金属陶瓷资料产品高效加工
。

利用要求：该项主张成就须通过国内专业的第三方检测机构的检考试证
。

1113 抗高压应力氢化DLC薄膜资料的研发

需要指标：在类金刚石涂层的基础上；通过节造H含量与分子之间的交联水平
，开发出一种低硬度抗高压载荷能力的多层复合结构涂层
，使表层结构的硬度低于中央层
，能够耐受1000MPa以上的冲击载荷和60N以上的摩擦压力
Ｄ芄宦愀骼嗳加头⑵鸹哐鼓ニ鸺、高压泵组、高速高载摩擦场所的利用中
，显著提升零部件的使用寿命并缩短维保周期
，削减能源亏损与碳排放
。

查核指标：（1）镀膜产品摩擦系数<0.1；（2）纳米硬度1000-3300HV可调；（3）磨损率比尺度类金刚石降低20%以上；（4）镀膜产品寿命提升30%以上；（5）镀膜沉积速度不低于2um/h
。

利用要求：该项主张成就须通过国内主流汽车零部件厂商利用验证
。

1114 用于量子资料与器件的矢量超导磁体及超低温系统的研发

需要指标：用于量子资料与器件的矢量超导磁体及超低温系统是集多种基础物理性质丈量职能于一体的现代化高端科学仪器
。本项目设计理想意在设计一个精准可控的*低和善多矢量轴强磁场平台
，并在此基础上集成开发磁学、电学、热学以及介电等各类物性丈量伎俩
。这样的集成化设计*大减弱科研人员自己搭建尝试的繁琐和误差
，同样降低了用户的采购成本
。

查核指标：（1）磁体指标：Z轴磁场9T
，X轴/Y轴磁场1T；冷孔直径55mm；（2）磁场温度指标：<1.5K；（3）设计并构建用于低温矢量超导测试系统的电学丈量？
，电阻丈量领域：1×10-6Ω~1×106Ω；（4）可能在3nm-NiFe薄膜（国际尺度样品）中测试出信号
，信噪比达到10：1以上
。

利用要求：该项主张成就通过国内专业的第三方检测机构的监督检考试证
。